ULVAC
マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX W300
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLXTM-3000N
光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置 SRH シリーズ
マルチチャンバ型 スパッタリング装置SME-200シリーズ
ロードロック式スパッタリング装置CS-200
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置uGmni-200, 300
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