ULVAC
Model: ENTRON-EXX
最先端半導体ロジック、メモリ、パッケージングなど多品種のデバイス生産に対応したマルチチャンバー式スパッタリング装置
Model：uGmni-300S
主にパワーデバイス、オプトデバイス、RFデバイス用途の量産向け、マルチチャンバー式スパッタリング装置
Model： SME
オプトデバイス、実装、MEMS/電子部品、パワーデバイス、通信デバイスなど向けの、マルチチャンバー式スパッタリング装置
Model： SRH
実装およびパワーデバイス用途に最適な量産用、マルチチャンバー式スパッタリング装置
Model： SEGul-200
パワーデバイス、オプトデバイス、RFデバイス用途に使用されるGaNデバイスの量産向け、マルチチャンバー式スパッタリング装置
Model： CS
研究開発から小規模生産まで対応可能な、シングルチャンバー式スパッタリング装置
Model： SMV
PLP実装のシード層 （Ti/Cu） 形成向けの、マルチチャンバー式縦型スパッタリング装置
Model：SIV, SCV
多様な材料の成膜に適しており、さまざまな基板に対応可能な、インライン式縦型スパッタリング装置
Model： SIH, SCH
多様な材料の成膜に適しており、さまざまな基板に対応可能な、インライン式スパッタリング装置
Model： SV
基板を大量に処理できる、バッチ式ドラム型スパッタリング装置
Model： SMD
計1400台以上の販売実績をもつModel：SMDのうち、主に高精細ディスプレイ分野で使用されるマルチチャンバー式スパッタリング装置
計1400台以上の販売実績をもつModel：SMDのうち、主に大型ディスプレイ分野で使用されるインライン式スパッタリング装置
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