スパッタリング装置
Model： SMD
計1400台以上の販売実績をもつModel：SMDのインライン式縦型スパッタリング装置です。主に大型ディスプレイ用途で、金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜などの成膜ができます。
特長
- 豊富な経験とデーターに支えられた、広汎な成膜プロセスに対応
- 高い生産性
- 自動成膜プロセスチューニング技術を導入
用途
- 大型ディスプレイ用TFT
仕様
| Model | G8.5～G8.6 | G10.5 | |
| SMD-2400F | SMD-3400 | ||
| 基板サイズ（mm） | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | 2940 × 3370 | |
| 成膜方式 | サイドデポ方式基板固定成膜 | ||
| 部屋構成 | 1) 基板受け渡し | 1室 | |
| 2) 仕込/取出室 | 1室 | ||
| 3) 加熱室 | 1室 | ||
| 4) スパッタ室 | 最大 4室 | ||
| 高真空排気系 | ターボ分子ポンプ | ||
| 基板移載システム | トレー ＋ 磁気浮上搬送システム | ||
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