ULVAC
アルバックは様々な産業分野向けのスパッタリングターゲットの製造、高機能材料(Ti、Ta、Nb、Zr等)の精製と精密加工を行っています。
アルバックは「低パーティクル」「均質な膜厚分布」「高い使用効率」をめざして、材料ごとに製造方法を検討することで、高品質なスパッタリングターゲットを開発・製造しています。
FPD製造装置向けスパッタリングターゲット
半導体製造装置向けスパッタリングターゲット
IGZOターゲット 高移動度材料
高純度真空蒸着材料
アルバックは、真空溶解炉や真空熱処理炉を駆使して、チタン、タンタル、ジルコニウムなどの一貫製造を行っています。また、高機能材料の精密加工も提供しており、さまざまな産業に貢献しています。
[Nb] 加速器用超電導材料
[Ta] [Nb] 板
[Ta] [Nb] 棒・線
[Ta] [Nb] チューブ
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