研究施設
基礎研究から応用分野まで、未来を想像し最先端に挑戦するシンクタンク
未来の装置・プロセス・材料と多角的に問題解決にあたるアルバックグループのシンクタンクです。
先進技術研究所
（神奈川県茅ヶ崎市アルバック本社・工場内）
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先進技術研究所は 2020年4月に技術開発部、超材料研究所、半導体電子技術研究所、未来技術研究所の研究部門を統合、『先進技術研究所』として生まれ変わりました。未来の装置、成膜技術、材料開発をはじめ、メカトロ技術、シミュレーション技術、分析技術により各種装置の高機能、高信頼性、高生産性を目指した革新的次世代製造技術の実現に向けて開発を進めています。
（静岡県裾野市）
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裾野では、半導体デバイスのDRAM, 3D NANDに加え、最先端ロジックや不揮発性メモリ工程用の製造装置・プロセス開発を行っております。
さらに通信デバイスをはじめとした電子部品用の製造装置・プロセス開発を行っております。
（千葉県富里市）
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富里では、FPD・電子部品・各種フィルム用の広範囲な分野の薄膜形成プロセス、および酸化物半導体、配線用金属材料などの開発を行っています。
未来技術研究所
大阪大学 大学院工学研究科アルバック未来技術協働研究所
（大阪府吹田市大阪大学吹田キャンパスセンテラス棟内）
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未来技術研究所は、長期的な成長シーズを開拓するため茨城県つくば市に2015年7月、設置しました。
次世代デバイスにイノベーションを創出できる材料や技術を提案するとともに、地球環境・エネルギー問題を解決できる革新的な技術の提案を目指しています。
アルバック未来技術協働研究所は、2018年11月より大阪大学の産学連携の枠組みを通じて、相互の研究者の人財交流を図り、研究開発ネットワークを構築するとともに、医工学分野における学術の発展、技術課題の解決、および創造力豊かな大学の人財育成への貢献を目指します。
アルバック先進技術協働研究拠点
（東京都目黒区 東京工業大学大岡山キャンパス北1号館4階412号室）
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2021年9月、東京工業大学の持つプラズマ測定技術とAI技術を融合させ、プラズマの状態を計測することにより、プラズマプロセス装置高性能化のため設置しました。異なる分野の研究室のシナジー効果で、個別の共同研究では得られない新たな研究成果が生まれることを目指します。
また組織対組織の連携を生かし、共同研究のみにとどまらず人材育成なども含めた幅広いつながり で、アルバックと東工大双方の将来の発展につなげていきます。