富永淳二博士講演録〈抜粋版〉
富永先生の研究テーマである「相変化メモリ」はまさに到達点が次への新たな出発点ともいえるもので、現在も次世代相変化メモリとして「トポロジカル絶縁体」に取り組んでいる。この … ビッグデータをベースとする IoT、AI 社会に大いなる可能性が期待される 「トポロジカル絶縁体」とは
到達点が新たな出発点の 相変化メモリ研究
独自の視点で「やればできる」をモットーに取り組む研究ポリシー
産業技術総合研究所 首席研究員 Ph.D.富永淳二
1960 年代に開発された「相変化メモリ」は、同一材料の結晶状態と非結晶（アモルファス）状態による差異変化を記憶させる技術である。 … 到達点が新たな出発点の 相変化メモリ研究
サバの常温保存を可能にした「さばトバ」を開発
真空食品乾燥技術「ゆるドライⓇ」で青森八戸を元気に！
「サバ」はマグロやアジなどと並んで世界的に消費量が多く、焼き魚や煮魚、干物やしめサバとして食べられています。栄養面では、動脈硬化や血栓などの予防に役立つDHA（ドコサヘキサエン酸）やEPA（エイコサペンタエン酸）といった高度不飽和脂肪酸が多く含まれていることで有名ですね。ただ、青魚 … サバの常温保存を可能にした「さばトバ」を開発
研究活動の原動力は「面白い」と感じるキュリオシティ
皮膚感覚のウェアラブルデバイス研究を成し遂げる研究者の資質とは？
東京大学 染谷隆夫教授
「半導体デバイスは硬いシリコン基板上につくるもの」、というのがひと昔前までの一般常識であった。2000 年代になると、曲がるエレクトロニクスの研究が活発になった。
… 研究活動の原動力は「面白い」と感じるキュリオシティ
圧電MEMS向けPZT膜エッチング
下部電極であるPtとの高い選択性を持つPt/PZTエッチングプロセスを提供します。（選択比例：PZT/Pt＞5@8inch, ＞10@6inch）
また下地の掘れ量を最小化する高均一性(＜+/-3%@8inch)と精密な終点検出を提供します。
圧電MEMS向けPZT膜スパッタリング
世界最高水準のPZTスパッタ膜を安定成膜できます。(CMOS上成膜対応：PZT成膜温度 <500℃)
マルチチャンバー搭載で、PZT full stack(上下電極+PZT)を一貫成膜可能です。
圧電MEMSの製造プロセス
近年MEMSデバイス技術はますます進化し、各種センサー、アクチュエータに不可欠な存在になっています。 … 圧電MEMSの製造プロセス
真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発
リチウムイオン二次電池（Lithium-ion Battery : LiB）は，スマートフォン，ドローン，電気自動車（Electric Vehicle : EV）といった幅広い用途に適用され，市場規模は急速に拡大することが予想されている。特に自動車市場においては， … 真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発
車載3Dセンサ向けドライエッチング技術
自動車産業において，電気自動車に次ぐ革命として自動運転技術の開発が進められている。自動運転を行うためには，自動車の周囲の情報を3 次元的に得る必要があり，車載用の高精度に3D センシングが可能な方法として，LiDAR（Light Detection And Ranging：光による検知と測距）がある。 … 車載3Dセンサ向けドライエッチング技術
垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用
電気二重層キャパシタ（EDLC）は高出力と長寿命に優れた蓄電デバイスであるが，エネルギー密度が低いという課題がある。近年では温室効果ガスの排出量削減に関して世界的に政策が進められており，ハイブリット自動車（HEV）や電気自動車（EV）などに搭載するためのキャパシタにも高エネルギー密度化が求められている