ドライエッチングとは

エッチングとは、半導体製造工程において半導体上の不要部分の薄膜を加工する技術である。薄膜上のマスクのパターンを転写することであり、マスクに覆われていない部分の薄膜を一部または全部除去する工程のことを指す。 ドライエッチングとは

2022 ICEP ULVAC

国内最大の実装国際学会2022 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)が、5/11(水)から5/14(土)に、Hybrid conferenceとして開催されます。アルバックはゴールドスポンサーとして本イベントに協賛しています。 2022 ICEP ULVAC

光学薄膜とは

光学多層膜はガラスや樹脂,金属などの基材に数種類の屈折率の異なる材料を交互に形成することで特定波長の光を透過・反射する機能をもたせた薄膜である(Fig.1)。 光学薄膜とは