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スパッタ率とは

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 スパッタ率(Sputtering Yield)はイオン1個がターゲットに衝突した時にターゲットから飛び出す原子数の統計的確率値のことである。

スパッタ率はターゲットからスパッタされた原子の個数とターゲットに入射したイオンの個数から算出される。
スパッタ率は入射イオンのエネルギーに依存するが、入射イオンのエネルギーがある一定値以上でないとスパッタされない。
入射エネルギーの増大に伴ってスパッタ率は増加するが、入射イオンのエネルギーが104eVを越えると、入射粒子はターゲット内部に入り込み、ターゲットを加熱するだけでスパッタする確率は低下する。