光学多層膜はガラスや樹脂，金属などの基材に数種類の屈折率の異なる材料を交互に形成することで特定波長の光を透過・反射する機能をもたせた薄膜である（Fig.1）。 … 光学薄膜とは
シード層とは
半導体実装デバイスには、再配線層とビルドアップ配線層、大きく分けて2種類の配線層があります。 … シード層とは
エレクトロマイグレーションとは
エレクトロマイグレーションとは、金属配線に電流を流すことで、流れる電子が金属原子に衝突し、金属原子が移動する現象のことである。 … エレクトロマイグレーションとは
GaNパワーデバイス
本研究は，文部科学省『省エネルギー社会の実現に資する次世代半導体研究開発』事業JPJ005357ににおける名古屋大学殿の協力機関としての成果が含まれる。 … GaNパワーデバイス
エッチング面内分布改善
ガス種・流量比、プロセス圧力、RFパワー等のプロセスパラメータ最適化は、エッチングレート・選択比・加工形状といった項目だけでなく、面内分布にも影響します。したがって、プロセスによる分布追求には、他の項目とのトレードオフが発生します。 … エッチング面内分布改善
半導体パッケージ用語集
半導体パッケージ（実装）分野でよく使われる略語/用語の一覧です。 … 半導体パッケージ用語集
パッシェンの法則とは
火花放電が起こる電圧に関する法則のこと。 気体中に強い電界を印加すると、やがて絶縁破壊に至り、火花放電が生じる。 … パッシェンの法則とは
半導体パッケージの種類
今後、Mobile, Automotive, HPC, IoT, Serverといった高機能デバイスの需要がますます増加することが考えられます。 … 半導体パッケージの種類