車載3Dセンサ向けドライエッチング技術

自動車産業において,電気自動車に次ぐ革命として自動運転技術の開発が進められている。自動運転を行うためには,自動車の周囲の情報を3 次元的に得る必要があり,車載用の高精度に3D センシングが可能な方法として,LiDAR(Light Detection And Ranging:光による検知と測距)がある。 車載3Dセンサ向けドライエッチング技術

垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用

電気二重層キャパシタ(EDLC)は高出力と長寿命に優れた蓄電デバイスであるが,エネルギー密度が低いという課題がある。近年では温室効果ガスの排出量削減に関して世界的に政策が進められており,ハイブリット自動車(HEV)や電気自動車(EV)などに搭載するためのキャパシタにも高エネルギー密度化が求められている

垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用

自動車に使われるパワーデバイス

昨今,車社会を取り巻く環境が変化してきている。これまでは,車の快適性や利便性が重要視されていた。しかし,CO2 による地球温暖化や高齢化による交通事故などのため,環境負荷低減や安全性が重要視されてきている。そのため,世界各国でplug-in hybrid electric vehicle(PHEV),electric vehicle(EV),full cell vehicle(FCV),等の開発が進められている。

自動車に使われるパワーデバイス

車載MEMS センサ用機能性材料膜の形成

世界の自動車産業は2.3 兆ドル規模(2017 年)であり,今後,年平均成長率2.7% ほどで成長が続くとみられている。その中で,車載エレクトロニクスは,年平均成長率7% の1420 億ドル規模,そのうち車載センサは同13% の110 億ドル規模と見られており1, 2),車載センサの期待値が大きいことが伺える。 車載MEMS センサ用機能性材料膜の形成

大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工

バイオ・ライフサイエンス分野におけるマイクロ流路・マイクロストラクチャー等のマイクロ化学チップ市場の拡大が期待されて来ており、それらの量産化に対応した技術開発が求められている。 そのソリューションとして、パネルサイズの大型ガラス基板によるマイクロ化学チップの高効率な加工技術の開発に取り組んできた。

大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工