真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発

1. はじめに

リチウムイオン二次電池(Lithium-ion Battery : LiB)は,スマートフォン,ドローン,電気自動車(Electric Vehicle : EV)といった幅広い用途に適用され,市場規模は急速に拡大することが予想されている。特に自動車市場においては,欧州のEuro7 をはじめとする各主要国での排ガス規制の高まりや米国加州のZero Emission Vehicle(ZEV)規制強化,中国のNew Energy Vehicle( NEV)規制の動きを受け,従来の化石燃料を用いたエンジン技術ではこれらの規制をクリアすることが困難である。そのため,EV やプラグインハイブリッド車(Plug-in Hybrid Vehicle : PHV,PHEV)の普及に各自動車メーカーは舵切りを始めている1)

真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発

車載3Dセンサ向けドライエッチング技術

1. はじめに

自動車産業において,電気自動車に次ぐ革命として自動運転技術の開発が進められている。自動運転を行うためには,自動車の周囲の情報を3 次元的に得る必要があり,車載用の高精度に3D センシングが可能な方法として,LiDAR(Light Detection And Ranging:光による検知と測距)がある。車載用LiDAR の市場は2018 年で15 億円程度であるが,今後自動運転技術の進歩に伴い,2024 年までには1400 億円の市場にまで達することが予測されている1)
車載3Dセンサ向けドライエッチング技術

垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用

1. はじめに

電気二重層キャパシタ(EDLC)は高出力と長寿命に優れた蓄電デバイスであるが,エネルギー密度が低いという課題がある。近年では温室効果ガスの排出量削減に関して世界的に政策が進められており,ハイブリット自動車(HEV)や電気自動車(EV)などに搭載するためのキャパシタにも高エネルギー密度化が求められている

垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用

車載MEMS センサ用機能性材料膜の形成

1. はじめに

世界の自動車産業は2.3 兆ドル規模(2017 年)であり,今後,年平均成長率2.7% ほどで成長が続くとみられている。その中で,車載エレクトロニクスは,年平均成長率7% の1420 億ドル規模,そのうち車載センサは同13% の110 億ドル規模と見られており1, 2),車載センサの期待値が大きいことが伺える。自動車の進化を支えるものに制御システムの高性能化が挙げられる。制御システムにより,低燃費,低エミッション,安全性,快適性,利便性などが実現,付加されてきた。制御システムはElectronic ControlUnit(ECU),センサ,アクチュエータで構成され,センサは自動車の環境面,安全面における制御に不可欠な役割を果たしている。センサの搭載数は年々増えており,車種によるが100 個を超えるセンサが搭載されているとのことである3, 4)

車載MEMS センサ用機能性材料膜の形成

大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工

バイオ・ライフサイエンス分野におけるマイクロ流路・マイクロストラクチャー等のマイクロ化学チップ市場の拡大が期待されて来ており、それらの量産化に対応した技術開発が求められている。 そのソリューションとして、パネルサイズの大型ガラス基板によるマイクロ化学チップの高効率な加工技術の開発に取り組んできた。

大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工