大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工

バイオ・ライフサイエンス分野におけるマイクロ流路・マイクロストラクチャー等のマイクロ化学チップ市場の拡大が期待されて来ており、それらの量産化に対応した技術開発が求められている。 そのソリューションとして、パネルサイズの大型ガラス基板によるマイクロ化学チップの高効率な加工技術の開発に取り組んできた。

大型ガラス基板によるマイクロ流路・マイクロストラクチャー加工

MRAM 向け量産技術開発

1.はじめに

MRAM(Magnetic Random Access Memory:磁気抵抗メモリ) は,DRAM(Dynamic Random Access Memory:ダイナミックメモリ)の微細化によるリーク電流増大への対策や待機電力の低減を実現する潜在能力を示すことができる数少ない次世代不揮発性メモリ候補の一つとして期待されている. MRAM 向け量産技術開発