MRAM 向け量産技術開発

1.はじめに

MRAM(Magnetic Random Access Memory:磁気抵抗メモリ) は,DRAM(Dynamic Random Access Memory:ダイナミックメモリ)の微細化によるリーク電流増大への対策や待機電力の低減を実現する潜在能力を示すことができる数少ない次世代不揮発性メモリ候補の一つとして期待されている. MRAM 向け量産技術開発