96ウェルプレートを直接撹拌できるシステム微量精密撹拌機 MICROPADDLE
アルバックでは低回転から1min-1刻みの回転速度設定、最大12種類での異なる回転速度での同時撹拌も可能で、高精度・高精密・高効率な新たな撹拌を提案しています。 … 高精度・高精密・高効率な新たな撹拌を提案
カテゴリー: Technical Journal
水晶発振式成膜コントローラ・有機材料向け4MHz水晶板の開発
概要
有機材料の蒸着には、モニタとしてQCMが一般に使われているが、これらのセンサーには5MHzまたは6MHzの水晶板が用いられている。 … 水晶発振式成膜コントローラ・有機材料向け4MHz水晶板の開発
SiCパワーデバイス生産技術
1．SiCパワーデバイスとは
スマートシティの構築，地球温暖化問題の解決策としてパワーエレクトロニクスは重要な役割を担っている。パワーエレクトロニクスとは電力の変換，制御を行う技術であり，電車，自動車，太陽電池，エアコン等さまざまな場所で使用されている。パワーエレクトロニクスでキーとなるのがパワーデバイスであり，その性能としては電力損失が小さく，スイッチング速度が高速であることなどが重要である。
大型スパッタカソードにおけるIGZO 成膜技術
1．はじめに
薄型テレビを代表するアクティブマトリックス型の液晶ディスプレイ（ 以下，AM-LCD） では，4K TV や500 ppi を超える解像度のスマートフォン等の高精細ディスプレイが市場に出回るようになった． … 大型スパッタカソードにおけるIGZO 成膜技術
4K 冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発
１．はじめに
極低温冷凍機とその応用製品を製造販売していた岩谷瓦斯㈱低温機器部が2014 年5 月1 日にアルバック・クライオ㈱に譲渡・継承された．岩谷瓦斯㈱低温機器部は2006 年度から2013 年度まで無冷媒希釈冷凍機を大阪市立大学と共同開発した1）－5）．2014 年度からは，新たな希釈冷凍機の開発を大阪市立大学とアルバック・クライオ㈱で進めている．これまでの開発経過について報告する． … 4K 冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発
リークディテクタ
「HELIOT 900シリーズ」の開発
1．はじめに
アルバックが1967年に初めてヘリウムリークディテクタ（helium leak detector, HLD）「DLMS」を販売開始し，その後，1995年にセレクトフリーという独自排気系の技術を用いて，世界で初めて完全自動化でグロスリークからファインリークまでのテストを可能とした「HELIOT 300シリーズ」1）を販売開始してから約20年が経過した．
OLED用薄膜封止装置
「CEE-950」の開発
1．はじめに
近年，OLED（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）デバイスは携帯電話用ディスプレイを筆頭に，大型テレビ用ディスプレイ，特殊・装飾照明など，一般消費者向け市場でも定着し始めている．OLEDの特長を生かした次世代デバイスとして，フレキシブルディスプレイ，フレキシブル照明が期待され，各社がしのぎを削りながらデバイス開発，材料開発，及び，装置開発を進めている．
結晶太陽電池向け
イオン注入装置の開発
1．はじめに
再生可能なエネルギーとして太陽電池はすでに世界中で市場が年々拡大している．太陽電池は様々な種類があり，その中でも結晶系太陽電池は高い割合を占めている． … 結晶太陽電池向け
イオン注入装置の開発