ULVAC
これらの装置は、多様な材料の成膜に適しており、さまざまな基板に対応できます。ULVAC独自の搬送システムを採用することで、優れたコストパフォーマンスを実現しています。高い柔軟性を備え、幅広い用途に対応できる理想的なインライン式スパッタリング装置です。
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