SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。枚葉式は主に高精細ディスプレイ用途です。
型式 | G6 | G8.5~G8.6 | |
SMD-1800 | SMD-2500X | ||
基板Size(mm) | 1500 × 1850 | 2200 × 2500 ~ 2290 × 2620 | |
成膜方式 | サイドデポ方式基板固定成膜 | ||
部屋構成 | 1) 仕込/取出室(※1) | 2室 | |
2) 搬送室 | 1室 | ||
3) Sputter室 | 最大 4室 | ||
高真空排気系 | クライオポンプ or ターボポンプ | ||
基板移載システム | 真空搬送Robot(2段アーム) |
※1 基板加熱HeaterをOption搭載可能
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