ULVAC
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。
SiCトレンチエッチング
GaNトレンチエッチング
圧電MEMS向けPZT膜エッチング
BAWデバイス向け裏面Viaエッチング
BAWデバイス向けAlScN膜エッチング
μLED向け成膜/加工技術
VCSEL向け加工技術
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