ULVAC
アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。
Model:uGmni-200E
1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性があるドライエッチング装置
Model: NE-550EX
研究開発向けの有磁場ICP(ISM:ICP with Static Magnetic field)方式のドライエッチング装置
Model:NLD-5700
当社が独自に開発した磁気中性線プラズマ(NLD)による、オプトデバイス、MEMS向けの、ドライエッチング装置
Model: NLD-570
当社が独自に開発した磁気中性線プラズマ(NLD)による、研究開発向けの、ドライエッチング装置
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