有磁場ICP(ISM:ICP with Static Magnetic field)方式のドライエッチング装置で、枚葉式の構造を採用し、LL室を標準装備しています。コンパクトで低価格を実現した研究開発向けに最適なモデルです。
システム構成 | 研究開発/プロトタイプ装置 + Load Lock室 |
基板サイズ | 〜150 mm |
操作圧力(Pa) | 0.07〜6.7 |
面内・面間均一性 | ±3% max. |
基板温度制御 | 静電チャック |
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