AC(Alternating Current)とは、向きが周期的に変化する電流のことであり、1秒間に向きが変わる回数を周波数と呼ぶ。 … ACスパッタとは

DC(Direct Current)とは、電圧が常に一定であり、一定の方向に電気が流れるものである。 … DCスパッタとは

スパッタリングとは、薄膜形成に用いられる物理的気相成長法(PVD)の1種である。 … スパッタリングとは

スパッタ装置でカソードと基板間、正確に言うとカソードのターゲット表面から基板までの距離の事を指します。 … TS距離とは

ステップ･カバレッジとは段差被覆性と言い、基板の表面にある微細な段差部（蒸発源に対して垂直方向の面）にスパッタリング、蒸着等で成膜した時の、膜の被覆状態をいいます。 … ステップカバレッジとは

バッキングプレートはスパッタリングターゲットに張り合わせて使われるスパッタリングカソードを構成する部品の一つです。 … バッキングプレート