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スパッタ装置でカソードと基板間、正確に言うとカソードのターゲット表面から基板までの距離の事を指します。 T/S間の距離は、固定式カソードだと変更できないですが、カソードの上下機構を持ち変更出来る装置や、フランジ等で調整することも可能です。 T/S間距離は、成膜速度（Rate）と膜厚分布に影響します。また近すぎても、遠すぎても放電しないため適切な距離を取る必要があります。
放電時の圧力との関係もありますが、4-6インチカソードで一般的なT/S間距離は40-70mm位です。T/S間距離が長くなると成膜速度（Rate）は落ちます。 膜厚分布への影響は一概には言えないため、材料や基板サイスで最適値を求める必要があります。