意外と知らない真空用語解説

真空装置やプロセスで使用される用語の解説です。

スパッタリング用語解説

• スパッタリング
• マグネトロンスパッタ
• DCスパッタ
• RFスパッタ
• ACスパッタ
• バッキングプレート
• ステップカバレッジ
• T/S距離
• パッシェンの法則
• プラズマ

イオン注入用語解説

• イオン注入
• ドーズ（DOES）量
• 質量分離

半導体実装用語解説

• 再配線層
• 半導体パッケージ
• ビルドアップ層
• シード層
• 半導体パッケージ略語集

材料解説

• 化合物半導体
• GaaS
• InP