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AC(Alternating Current)とは、向きが周期的に変化する電流のことであり、1秒間に向きが変わる回数を周波数と呼ぶ。 AC放電とは、周波数の低い交流を用いて、正負の電極を交互に反転できるように2本のTargetを並べ、交互に電圧を印加する放電方式のことである。
ACスパッタは2本のTargetが交互に放電されるためTarget表面のCharge Up抑制が可能。 高抵抗なTargetに用いられる放電方式である。