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DC(Direct Current)とは、電圧が常に一定であり、一定の方向に電気が流れるものである。
スパッタリングをする場合、CathodeとAnodeに電圧を印加してグロー放電を発生させる必要がある。 DCスパッタとは電流を一定方向に流し、電圧を印加させる放電方式のことである。 DC（直流）放電は、Al , Ti , Cu , Moのような金属Targetのスパッタリングが可能。 しかし、SiO2 , Al2O3のような絶縁物Targetの放電は不可である。