バッキングプレート

バッキングプレートはスパッタリングターゲットに張り合わせて使われるスパッタリングカソードを構成する部品の一つです。 主な役割としては、放電を行うための電極の役割とターゲットの温度上昇を抑えるための冷却板としての役割があります。電極や水冷の役割から材料として銅が使われることが多いです。

ターゲットの形状に合わせて加工され、バッキングプレート内では冷却水用の水路が形成されています。 ターゲット自体は装置に取り付ける機構がないためバッキングプレートにInやIn合金をボンディング材にして接合されます。

スパッタリング装置の紹介はこちら

意外と知らない真空用語解説一覧