下部電極であるPtとの高い選択性を持つPt/PZTエッチングプロセスを提供します。(選択比例:PZT/Pt>5@8inch, >10@6inch)
また下地の掘れ量を最小化する高均一性(<+/-3%@8inch)と精密な終点検出を提供します。
圧電MEMS向けPZT膜スパッタリング
世界最高水準のPZTスパッタ膜を安定成膜できます。(CMOS上成膜対応:PZT成膜温度 <500℃)
マルチチャンバー搭載で、PZT full stack(上下電極+PZT)を一貫成膜可能です。
圧電MEMSの製造プロセス
近年MEMSデバイス技術はますます進化し、各種センサー、アクチュエータに不可欠な存在になっています。 … 圧電MEMSの製造プロセス
真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発
リチウムイオン二次電池(Lithium-ion Battery : LiB)は,スマートフォン,ドローン,電気自動車(Electric Vehicle : EV)といった幅広い用途に適用され,市場規模は急速に拡大することが予想されている。特に自動車市場においては, … 真空蒸着プロセスを用いたLi 金属負極の開発
LiDARの原理とは
自動車産業において,電気自動車に次ぐ革命として自動運転技術の開発が進められている。自動運転を行うためには,自動車の周囲の情報を3 次元的に得る必要があり,車載用の高精度に3D センシングが可能な方法として,LiDAR(Light Detection And Ranging:光による検知と測距)がある。 … LiDARの原理とは
再配線層とは
再配線層(RDL)とはWLPのFan-Outや2.xD実装のデバイス構造の中にある、Cuと絶縁層で形成された配線層のことです。 … 再配線層とは
垂直配向カーボンナノチューブ電極の キャパシタへの応用
電気二重層キャパシタ(EDLC)は高出力と長寿命に優れた蓄電デバイスであるが,エネルギー密度が低いという課題がある。近年では温室効果ガスの排出量削減に関して世界的に政策が進められており,ハイブリット自動車(HEV)や電気自動車(EV)などに搭載するためのキャパシタにも高エネルギー密度化が求められている
自動車に使われるパワーデバイス
昨今,車社会を取り巻く環境が変化してきている。これまでは,車の快適性や利便性が重要視されていた。しかし,CO2 による地球温暖化や高齢化による交通事故などのため,環境負荷低減や安全性が重要視されてきている。そのため,世界各国でplug-in hybrid electric vehicle(PHEV),electric vehicle(EV),full cell vehicle(FCV),等の開発が進められている。
車載MEMSセンサの応用
世界の自動車産業は2.3 兆ドル規模(2017 年)であり,今後,年平均成長率2.7% ほどで成長が続くとみられている。その中で,車載エレクトロニクスは,年平均成長率7% の1420 億ドル規模,そのうち車載センサは同13% の110 億ドル規模と見られており1, 2),車載センサの期待値が大きいことが伺える。 … 車載MEMSセンサの応用