ULVAC
a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚葉式、バッチ式あるいは開発用特型をラインアップしています。
Model：uGmni-200C
uGmniの標準コアに、PE-CVDモジュールを搭載した装置
Model： CME
シリコン系絶縁膜やバリア膜などの成膜に最適な量産用の、マルチチャンバー式PE-CVD装置
Model： CC-200
小型で使いやすく、研究開発から少量生産向けの、シングルチャンバー式PE-CVD装置
Model： CMD
SiH4やTEOS等を用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用、マルチチャンバー式PE-CVD装置
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