ULVAC
半導体デバイス向け高性能イオン注入装置のシリーズです。
低加速・高濃度対応のイオン注入装置SOPHI-30
高エネルギー対応のイオン注入装置SOPHI-400
研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500
SiC用高温イオン注入装置 IH-860DSIC
中電流型イオン注入装置 SOPHI-200/260
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