ULVAC
半導体デバイス向け高性能イオン注入装置のシリーズです。
Model： SOPHI-400
パワーデバイス、IGBT向けにトップシェアを持つ高エネルギー対応の、イオン注入装置
Model：SOPHI
パワーデバイス、IGBT向けでトップシェアを有する中電流対応のイオン注入装置
Model： IH
パワーデバイス、SiCデバイス向けの高温/常温対応の高エネルギーイオン注入装置
Model： IMX-3500
大学などでの研究開発に最適な中電流対応の、イオン注入装置
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