ULVAC
電子デバイス、半導体デバイス製造工程に不可欠なレジスト除去技術を、環境配慮型(溶液不使用)、高生産性で提供します。
アッシング装置 Luminous NA シリーズ
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置uGmni-200, 300
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