IEEE ECTC2023にて最新チップレット集積向けプラズマエッチング技術について発表します|ニュース|アルバック
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2023.05.08
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IEEE ECTC2023にて最新チップレット集積向けプラズマエッチング技術について発表します

株式会社アルバックは、東京工業大学らが設立したコンソーシアムを代表し、最新チップレット集積向けプラズマエッチング技術について、世界最大規模の半導体実装学会2023 IEEE 73rd Electronic Components and Technology Conference ECTC 2023)で発表します。

開催期間 2023年5月30日(火) ~ 2023年6月2日(金) (EDT)
開催会場 JW MARRIOTT Orlando Grande Lakes, Orlando, Florida, USA
発表日時 2023年5月31日(水) 12:15~12:35 (EDT)
セッション名 Session 1. Heterogeneous Chiplet Integration
発表タイトル "A Novel Chiplet Integration Architecture Employing Pillar-Suspended Bridge With Polymer Fine-Via Interconnect"

関連外部サイト

IEEE ECTCについて(英語サイト)

https://www.ectc.net/

https://ectc.net/program/session1.cfm

*「チップレット集積プラットフォーム・コンソーシアム」関連サイト

https://www.ulvac.co.jp/news/20221006a/

https://www.titech.ac.jp/news/2022/064932

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株式会社アルバック web_info

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