2021年度日本真空工業会(JVIA)表彰 受賞しました |ニュース|アルバック
2022.06.16
ニュース

2021年度日本真空工業会(JVIA)表彰 受賞しました

アルバックは、JVIA表彰において2件の表彰を受けました。真空技術は、半導体をはじめとする多くの産業の基盤であり、技術革新がますます求められています。この表彰制度では真空産業に従事し、多大な貢献をした技術、開発、製造、サービス、営業等の各分野が対象です。表彰式は、5月27日に行われました。

真空コンポーネント大賞

マルチイオンゲージ電離真空計『ST200』

(株)アルバック 規格品事業部 宮下 剛、西巻 武輝、照井 敬晶、佐藤 貴伸、片桐 弘明、桑谷 淳、福原 万沙洋

真空装置部門賞

高密度実装向け低ダメージプラズマアッシング技術

(株)アルバック 半導体・電子機器事業部 廣庭 大輔、安田 和弘、植田 昌久、嶋地 篤志

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 ・日本真空工業会(JVIA)

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 ・詳細情報(Vacuum Magazine)

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