真空蒸着装置
有機EL成膜装置ZELDAシリーズ
アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。
特長
- ZELDAシリーズは、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G6H以上対応可能です。
用途
- 有機ELディスプレイ、有機EL照明
仕様
| 装置型式 | ZELDAシリーズ |
| 使用用途 | 量産 |
| 基板サイズ(MAX) | G6H以上 |
| 装置形態 | クラスター型・インライン型 |
| タクトタイム | 2min〜 |
| システム構成 | 前処理 → ホール層 → 発光層 (R) → 発光層 (G) → 発光層 (B) → 電子輸送層 → 電極層 |