ULVAC
アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。
Model： ei-5、EVD-600LP
金属や酸化物を成膜するためのバッチ式蒸着装置
Model： EWE
抵抗加熱方式により、プラスチックフィルムに金属を蒸着する、巻取式蒸着装置
Model： EWA
高周波誘導加熱方式により、金属や酸化物等を蒸着する、巻取式蒸着装置
Model： EWG
抵抗加熱方式により、プラスチックフィルムにアルミを蒸着する、二次電池向け、巻取式蒸着装置
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