真空蒸着装置
巻取式真空蒸着装置 EWGシリーズ
二次電池向けに抵抗加熱方式を用いプラスチックフィルムにアルミを蒸着する成膜装置です。
特長
- 独自の成膜技術により、基板の冷却効率を大幅に向上させ、蒸着プロセス中に生じる熱ダメージを軽減します。
- 高度な巻き取り制御システムにより、極薄フィルムの安定した高速巻き取り成膜を実現し、また、しわの発生を防ぐローラーを搭載しています。
- 両面一括成膜技術を用いて高い生産性を実現
用途
- 二次電池向け集電体
仕様
| Model | EWG-165 |
| Evaporation material | Al |
| Web material | PET |
| Web thickness | 4.5~8μm |
| Deposition side | Double side |
| Web width | max 1,700mm |
| Winding speed | max 500m/min |
| Web roll diameter | max 600mmφ/Core 6 inch |