ULVAC
ウェーハ表面やコンタクトホール底部の自然酸化膜を除去するために、優れたドライ洗浄性能を提供します。
Model:RISE-300
LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応する、バッチ式自然酸化膜除去装置
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