ULVAC
a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚葉式、バッチ式あるいは開発用特型をラインアップしています。
ETP-CVD装置 ULGLAZE シリーズ
枚葉式プラズマCVD装置 CMD シリーズ
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400
ロードロック式プラズマCVD装置 CC-200
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置uGmni-200, 300
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