CVD装置|製品紹介|アルバック

CVD装置

a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚葉式、バッチ式
あるいは開発用特型をラインアップしています。

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製品紹介

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