ULVAC
a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚葉式、バッチ式あるいは開発用特型をラインアップしています。
Model： CMD
PE-CVD装置 Model： CME
Model： CC-200
Model：uGmni-300S
PE-CVD装置 Model：uGmni-200C
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