STマイクロエレクトロニクス、A*STARおよびULVACは協力し、世界初の圧電MEMSのLab-in-Fab型研究開発ラインを設立しました。
詳細は、下記STマイクロエレクトロニクスのWEBSITEをご覧ください。
アルバックのMEMS Device Solutionについては、下記をご覧ください。
https://www.ulvac.co.jp/special/mems/
株式会社アルバック elec_info
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