株式会社アルバックは、「アルバック先進技術協働研究拠点」を東工大大岡山キャンパス内に設置し、プラズマ測定技術とAI技術を融合させることで半導体製造装置の高性能化を目指す研究を進めています。今回その協働研究成果を、低温プラズマ関連の国際会議、International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)で発表します。
開催期間：2023年7月9日(日) ～ 2023年7月14日(金) (CET)
開催会場：Zuiderduin, Egmond aan Zee, The Netherlands
| 開催期間 | 2023年7月13日(木) 13:45 - 15:45 (CET) |
|---|---|
| セッション名 | Poster session P3 |
| 発表タイトル | "Diagnosis of spatial distribution of electron temperature and electron density of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurement." |
| 開催期間 | 2023年7月13日(木) 17:00 - 19:00 (CET) |
|---|---|
| セッション名 | Poster session P4 |
| 発表タイトル | "Spatial distribution of vibrational and rotational temperatures of N2 ICP by tomographic optical emission spectroscopic measurement" |
関連外部サイト
ICPIG XXXVについて（英語サイト）
https://www.icpig2023.com/home
＊「アルバック先進技術協働研究拠点」関連サイト
https://www.ulvac.co.jp/news/20210922/
https://www.titech.ac.jp/news/2021/061936
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