株式会社アルバックと国立大学法人東京工業大学が「アルバック先進技術協働研究拠点」を設置－真空装置の高性能化を目指して－

株式会社アルバック (本社：神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役社長：岩下節生、以下「アルバック」)と国立大学法人東京工業大学（東京都目黒区、学長：益一哉、以下「東工大」）は、2021年9月22日(水)に「アルバック先進技術協働研究拠点」を東工大大岡山キャンパス内に設置しました。

アルバックと東工大は、これまでも個別の研究で共同研究を進め成果を上げてきましたが、さらに企業と大学という組織単位での連携を強めるために、東工大のオープンイノベーション機構の支援のもと、2021年9月22日(水)に協働研究拠点を大岡山キャンパス内に設置する運びとなりました。複数の研究室との共同研究を模索してきた結果、開設時のテーマとして東工大科学技術創成研究院の赤塚洋准教授とプラズマ計測技術に関して、また、同研究院の熊澤逸夫教授とAI技術に関して共同で研究を進めることとなりました。

真空装置でもAI技術を搭載した生産装置が必須の時代となってきています。しかし現状取得できるデータだけではAI技術を活用しても装置性能の向上には限界があり、さらなる高性能装置とするためには新たな技術が必要です。真空装置ではプラズマを使ったプロセスが多く用いられていますが、プラズマの状態を直接測定して、それをプロセスにフィードバックすることはほとんど行われていません。協働研究拠点では、東工大の持つプラズマ測定技術とAI技術を融合させ、これまで計測できなかったプラズマの状態を計測することにより、まずプラズマプロセス装置の高性能化を目指します。異なる分野の研究室のシナジー効果で、個別の共同研究では得られない新たな研究成果が生まれることを期待しています。

また組織対組織の連携を生かし、共同研究のみにとどまらず人材育成なども含めた幅広いつながりで、アルバックと東工大双方の将来の発展につなげていきます。

写真左からアルバック 代表取締役社長 岩下節生、東工大 益一哉学長

協働研究拠点の概要

（※）東工大協働研究拠点制度について
協働研究拠点は「企業ニーズに寄り添う」ために、拠点内に「研究企画室」を設置し、現在あるテーマのみならず、新たな研究テーマの創出を図り、持続的な連携の場の実現を目指します。

外観写真

（※）参考
東京工業大学「オープンイノベーション機構」
https://www.oi-p.titech.ac.jp/
文部科学省「オープンイノベーション機構の整備事業」
https://www.mext.go.jp/a_menu/
kagaku/openinnovation/

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