真空炉
ホットローラー式真空熱処理炉FHHｎシリーズ
各種金属部品の熱処理、ろう付け、焼結等の真空熱処理に幅広く利用できます。 ホットローラ搬送方式を採用し、ユニット化した各室を組み合わせることで、プロセスにあった多室炉の構成を可能としました。
特長
- ホットローラ搬送方式の採用により、3室以上の多室炉を可能としています。
- 準備室（真空／大気置換），予熱室（常用500ºC），加熱室（常用1150ºC），冷却室のユニットを、プロセスにあわせて組み合わせ、最適な装置を構成できます。
- 各室をダブルゲートバルブで仕切ることで、真空／雰囲気を完全分離することが可能です。
- キャリアガス法式の採用により金属の蒸発をおさえた処理を可能としています。
- 生産の計画量にあわせて、ユニットの追加を行うことができます。
- 製品セットから、加熱1→冷却1→加熱2→冷却2→取り出しをインラインで処理することが可能です。
用途
- 真空熱処理：各種金属の熱処理、ろう付け
- 焼結処理：マグネット
仕様
| 諸元 / 型式 | 6090 | 6150 | 備考 | ||
| 性能 | |||||
| 大きさ | 均熱寸法 (㎜) | 幅 | 600 | 600 | |
| 長さ | 900 | 1500 | |||
| 高さ | 600 | 600 | |||
| 最大処理量 (㎏) | 500 | 800 | トレイ重量含む | ||
| 温度 | 最高温度 | 予熱室 | 600ºC | ||
| 加熱室 | 1200ºC | ||||
| 常用温度 | 予熱室 | 500ºC | |||
| 加熱室 | 1100ºC | ||||
| 冷却 | ガス冷却 | 標準 | 30分以内 | Ａｒ,Ｎ2ガス 選択可能 |
|
| 加圧型 | 190kPaG | ||||
| 真空 | 到達圧力 | 標準 | 10-1Pa台 | 空炉脱ガス後の値 | |
| 高真空型 | 10-3Pa台 | ||||
| 常用圧力 | 標準(1) | 1Pa〜10Pa | (1)低真空中 (2)キャリアガス中 |
||
| 標準(2) | 10Pa〜100Pa | ||||
| 高真空型 | 10-2Pa〜10-1Pa | ||||
| 排気時間 | 準備室 | 10min以内 | 空炉にて大気圧〜10Pa以下まで | ||
| 予熱室 | 10min以内 | ||||
| 冷却室 | 10min以内 | ||||
| Leak rate | 準備室 | 4×10-4以下 | 圧力上昇法 | ||
| 予熱室 | 4×10-4以下 | ||||
| 加熱室 | 2×10-4以下 | ||||
| 冷却室 | 4×10-4以下 | ||||
| ユーティリティー | |||||
|
3室タイプ |
電力量 (kVA) | 300 | 480 | 設備電力量 | |
| 冷却水量 (m3/hr) | 15 | 18 | 水温：20〜30ºC | ||
| 圧縮空気量 (Nm3/min) | 1100 | 1100 | 必要流量 | ||
| キャリアガス量 (L/min) | 80 | 200 | 流量計のMAX値 | ||
| 冷却ガス量 (m3/回) | 9 | 12 | 190ｋPa 加圧冷却時 | ||
| 床面積 (m2) | 幅 | 10 | 12 | ||
| 長さ | 10 | 13 | |||
| 高さ | 5.8 | 5.8 | |||
| 5室タイプ (予熱×2 加熱×2 冷却×1) |
電力量 (kVA) | 425 | 750 | 設備電力量 | |
| 冷却水量 (m3/hr) | 25 | 30 | 水温：20〜30ºC | ||
| 圧縮空気量 (Nm3/min) | 1100 | 1100 | 必要流量 | ||
| キャリアガス量 (L/min) | 160 | 300 | 流量計のMAX値 | ||
| 冷却ガス量 (m3/回) | 9 | 11.7 | 190ｋPa 加圧冷却時 | ||
| 床面積 (m2) | 幅 | 10 | 12 | ||
| 長さ | 12.5 | 17.5 | |||
| 高さ | 5.8 | 5.8 | |||