スパッタリング装置
巻取式スパッタリング装置SPW シリーズ
SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。
特長
- プロセスや生産性に応じてモジュールの選択が可能
- モジュールを任意に選択・追加することで様々な用途に応用可能
- 装置操作はフロアレベルで可能
- 優れた雰囲気分離性能と成膜プロセスの改善で高品位な膜のハイレート成膜が可能
用途
- タッチパネル用配線膜、透明導電膜およびインビジブル膜他
- FPC用電極膜
仕様
| SPW-030 | SPW-060 | SPW-165 C1 | SPW-165 C2 | |
| Target Material | ITO, Nb2O5, SiO2, Cu and Metal | |||
| Web Width | Max300mm | Max750mm | Max1600mm | |
| Web Thickness（μm） | 25 to 200 | |||
| Web Material | PET, PI, PC, COP and Others | |||
| W/UW Max Diameter | Φ300mm | Φ400mm /Φ700mm | Φ900mm | |
| Winding Speed（m/min） | 0.5 to 5.0 | 0.1 to 10 | 0.5 to 10 | |
| Cathode Structure | External | External / Internal | Internal | |
| Number of Cathode | 4sets | 8sets | 16sets | |
| 4Pair | 8Pair | |||
| Power Supply | DC or AC | |||
| Numbar of Main Roller | 1set | 2sets | ||
| MR Temp | -5 to 180ºC | -20 to 80ºC | -20 to 100ºC | |
| -10 to 180ºC | ||||
| Option | Bombard system, Ion Gun and Others | |||