材料
スパッタリングターゲット
高純度真空蒸着材料
アルバックの高純度真空蒸着材料はあらゆる薄膜電子デバイス分野で使用されております。クリーンな環境と高いレベルの品質保証体制の下で製造される蒸着材料はお客様に高い満足をご提供致します。
標準蒸着材料一覧
| 材質 | 純度 | 型式 | 形状 | 数量 |
|---|---|---|---|---|
| Al | 5N | SAW-15 | Φ1.5×L | 250gr |
| SAP-06 | Φ6×15 | 200P | ||
| SAP-22 | Φ22×14.6 | 20P | ||
| SAS-40 | Φ49×Φ36×26H | 3P | ||
| SAS-110 | Φ69×Φ57×36H | 2P | ||
| 5N5 | MAP-06 | Φ6×20 | 10P | |
| 5N8 | CAP-06 | Φ6×20 | 10P | |
| 6N | Φ6×20 | |||
| Cr | 3N | SCS-1 | 4×30×1.5 | 100P |
| SCS-2 | 6×8×4 | 100P | ||
| SCP-4 | 20×20×6 | 5P | ||
| SCH-10 | Φ32×Φ24×15 | 5P | ||
| SCH-40-20 | Φ45×Φ35×20 | 2P | ||
| Cu | 4N | ZMC-06 | Φ6×15 | 200P |
| Ni | 4N | 10×3×7 | 100P | |
| 4N | 10×14×7 | 10P | ||
| 4N | Φ45×Φ35×20 | 2P | ||
| 4N | Φ10×3 | 100P | ||
| Ti | 3N | Φ13×7.5 | 100P | |
| 4N5 | Φ12×3.5 | 100P | ||
| 4N5 | Φ45×diameter 35×20 | 2P | ||
| Ag Alloy | 4N | Φ10×15 | 50P | |
| Mo | 4N | Φ10×5 | 10P |
*標準品以外にも材料、形状等ご相談を承ります。
*各種真空蒸発源部品も取り扱っております。ご用命ください。