二次電池向けにリチウム蒸着と、各種材料のスパッタリングが可能な成膜装置です。開発現場でお使いいただけます。
Model | LX-200E | LX-200S | LX-200ES | |
基板サイズ | Max 200mm□ | |||
成膜エリア | Max 180mm□ | |||
装置構成 | 1)仕込/取出室 | 1室 | 1室 | 1室 |
2)搬送室 | 1室 | 1室 | 1室 | |
3)蒸着室(るつぼ、デポアップ) | 1室 | - | 1室 | |
4)スパッタ室(デポアップ、最大4カソード) | - | 1室 | 1室 |
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