Model: H83 / H84|拡散炉|製品紹介|アルバック
拡散炉

Model: H83 / H84

30年以上の実績を誇る信頼性の高い拡散炉です。200mmシリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニールなどの熱処理に利用できます。

特長

  • シリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニール工程で採用されている横型炉
  • 1つの装置で異なるプロセスも選択が可能
  • 3段、4段構成とする事で省スペースを実現
  • 5ゾーンヒーターはそれぞれ独立制御しており、均熱性、安定性に優れた温度制御が可能
  • 自社製制御系を搭載しており、容易で信頼性の高い運転を実現
  • H83-125、H84-125はボートエレベーターを標準装備しているため、上段へのローディングも容易
  • パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、オキシ塩化リン(POCl3)や三臭化ホウ素(BBr3)を使用したリン拡散やボロン拡散、アニールなどの処理が可能

用途

  • シリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニール処理

仕様

Model H83-50 H83-125 H84-125
プロセス 酸化、拡散、アニール
ウェーハ径(mm) ~ 200(8 inch)
段数 3 3 4
プロダクトウェーハ数(枚) 50 125 125
ヒータゾーン 5
ヒータ材質 Fe-Cr-Al
常用温度(℃) 600~1200
均熱長(mm) 370 mm 800 mm 800 mm
均熱性(℃) ±1.0 ℃

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