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MEMSデバイス

マイクロセンサーや流路モジュール、光スイッチ、バイオMEMSなど、幅広いMEMSアプリケーションに対応。多様な製造プロセスに適応可能な装置ラインアップで、高精度かつ柔軟なMEMSデバイス製造をサポートします。

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