セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を販売開始－コントローラ一体型で省スペース、取付け方向自由自在－

株式会社アルバック（本社　神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長　小日向久治、以下アルバック）はこのほど、排気速度280L/secのセラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を、2014年10月1日より販売開始しますので発表いたします。株式会社アルバック（本社　神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長　小日向久治、以下アルバック）はこのほど、排気速度280L/secのセラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を、2014年10月1日より販売開始しますので発表いたします。

【背景】

ターボ分子ポンプは、高真空～超高真空を作るために用いられる真空ポンプで、研究開発から製造ライン向けに広く使われています。当社はこれまで、ピボット軸受型の小型タイプ、磁気軸受型の中～大型タイプをラインナップしてまいりましたが、ターボ分子ポンプの用途が多様化していく中で、取り付け方向が自由である事、より小型である事、補助ポンプも小型にできる事、等のニーズに対応するため、この度セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を製品化しました。

【概要】

セラミック玉軸受を採用した排気速度280L/secのターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。取付け方向に制限が無く、優れた高背圧特性により、補助ポンプの小型化も可能になりました。

【特長】

新製品の特長は以下の通りです。

1. 取り付け方向に制限がありません。

2. コントローラがポンプ本体と一体になっているため、省配線と排気系の小型化に有効です。

3. 吸気口と排気口の圧縮比が高く、高背圧運転が可能なため、補助ポンプの小型化が可能です。

4. 吸気口フランジはVG100,ICF152,ISO100-Kの3種類から選択が可能です。

5. 無負荷運転時の騒音は50dB以下と静かです。(ISOフランジ型、当社測定値)

6. CEとNRTLの海外規格に適合しています。

【製品写真】

UTM300Bセラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

【販売目標および販売価格】

販売価格　120万円〜 130万円

初年度販売目標：100台

2014年10月15日(水)～17日(金)に東京ビッグサイトで開催される「真空展2014」のアルバックブース(東京ビッグサイト東ホールブースNo.V-033)で実機展示を行います。

お問い合わせ

株式会社アルバック　コンポーネント事業本部
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/contact/index.html

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