株式会社アルバックとIBMは、サンフランシスコで開催される第65回International Electron Devices Meeting (IEDM2019)において、次世代ロジックデバイス用に開発した新しいメタルゲート技術について発表します。
| 発表題目 | 「Ultra-scaled Conformal Scavenging Electrode with Superior Tunability for Short-channel RMG FinFET Workfunction and all-ALD 3D-compatible ReRAM」 |
| 発表日時 | 2019年12月11日 午後2:50(Session 36) |
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