光学膜用スパッタリング装置「ULDiSシリーズ」 ３Ｄ車載カバーガラス対応反射防止膜成膜装置を開発、販売開始

株式会社アルバックは、３Ｄ車載カバーガラスに対応した光学膜用スパッタリング装置ULDiSシリーズの販売を開始します。同装置は曲率のあるガラス基板でも面内分布に優れたスペクトル・色彩特性を有する反射防止膜（AR : Anti Reflective Coating）と防汚膜（AS :Anti Stain Coating）の成膜を実現可能にした装置です。

【特長】

1. 曲率をもったガラスデザイン（C-type , V-type 他 ）に対応可能。
2. 膜厚均一性（SiO₂ , Nb₂O₅）＜±１％
3. アルバック独自の防汚成膜技術により材料コストの低減を実現。
4. 成膜面への基板保持レスによる全面成膜を可能にした基板保持機構。

【装置仕様】

※上記Specは弊社指定条件

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