2024年度JVIA表彰にて3部門で受賞

アルバックグループは、2024年度一般社団法人日本真空工業会（JVIA）表彰において、3部門で受賞いたしました。
真空技術は、半導体、ディスプレイ、医療、エネルギーなど、多くの産業において欠かせない基盤技術であり、その発展は産業の持続的な成長を支える重要な要素です。本表彰では、真空技術の発展に寄与した各分野での優れた取り組みや成果が高く評価されました。
なお、授賞式は、2025年5月30日（金）に執り行われました。

受賞内容

真空コンポーネント大賞

受賞テーマ	腐食性ガスを用いる真空装置用表面処理「VACAL^®-Z」の開発
社名	株式会社アルバック

真空コンポーネント・部品・材料部門賞

受賞テーマ	分析装置向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプ Gv135
社名	アルバック機工株式会社

技能・業務部門賞

受賞テーマ	クライオポンプの性能測定方法に関するISO規定の制定
社名	住友重機械工業株式会社、アルバック・クライオ株式会社、キヤノンアネルバ株式会社

「真空コンポーネント大賞」受賞者コメント

このたびは、「真空コンポーネント大賞」という名誉ある賞を受賞できましたこと、大変光栄に存じます。
今回受賞した技術は、CVD装置やエッチング装置など、腐食性ガスを使用する真空装置向けに開発した表面処理「VACAL^®-Z」です。従来広く使用されてきたポーラス型アノード酸化処理（アルマイト処理）は、高温部においてクラックの発生による耐食性の低下やパーティクルの増加が課題とされていました。本技術は、これらの課題を解決し、高い耐食性と低ガス放出を実現する表面処理として開発されました。
さらに、大型真空装置部品の表面処理を可能とする技術や、ランニングコストの低減に寄与する再生処理技術も開発し、お客様の多様なニーズに応えるものとなっております。
本技術の開発および評価にご尽力いただいた多くの関係者の皆様に、心より感謝申し上げます。今後もお客様のご要望にお応えできるよう、より価値ある技術の創出に努めてまいります。

関連外部サイト

一般社団法人日本真空工業会

https://jvia.gr.jp/

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