当社研究員が執筆に参画した下記の書籍が技術情報協会から発刊されました。
| 書籍 | 技術情報協会「先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術」 |
| 発刊日 | 2023年9月29日 |
| 執筆担当 | 第２章 成膜技術の開発動向と高品質薄膜の作製 第１節 半導体多層配線における成膜技術とプロセスの最適化 |
技術情報協会「先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術」（外部サイト）
https://www.gijutu.co.jp/doc/b_2220.htm
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