株式会社アルバックは、最先端パッケージング向けプラズマエッチング技術について、2023 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM2023)のShort Courseで招待講演します。
| 開催期間 | 2023年9月5日(火) ～ 2023年9月8日(金) |
|---|---|
| 開催会場 | 名古屋国際会議場 |
| 講演日時 | 2023年9月5日(火) 16:15～17:00 |
| Short Course B | Plasma technology: Cornerstone of the post-scaling and next milestone of assurance energy and environment |
| 講演タイトル | "Prospect for dry etching technology for 3D･Chiplet integration" |
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