2022.03.01
リリース
大面積処理用イオンガン新機種を開発～処理能力を大幅に向上～
株式会社アルバックは基板表面クリーニングやエッチングに使われるイオンガンの新規モジュールを開発しました。従来のイオンガンでは使用時間に伴いエッチングレートが下がるという課題がありましたが、新規イオンガンではプラズマ発生部の構造を見直し、常に一定のエッチングレートを確保できるようになっています。
【新型イオンガンの概要】
[特長]
- 処理基板に合わせて長手方向寸法を選択可能
- 安定したエッチングレート
- 当社比2倍のエッチングレート
イオンガン性能比較グラフ
新型イオンガン ILシリーズ
【搭載可能装置】
●インライン インターバック式スパッタリング装置: SIVシリーズなど
●カルーセル式スパッタリング装置: SVシリーズなど
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［国内営業］
アルバック販売株式会社
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