拡散炉
Model： H83 / H84
30年以上の実績を誇る信頼性の高い拡散炉です。200mmシリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニールなどの熱処理に利用できます。
特長
- シリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニール工程で採用されている横型炉
- 1つの装置で異なるプロセスも選択が可能
- 3段、4段構成とする事で省スペースを実現
- 5ゾーンヒーターはそれぞれ独立制御しており、均熱性、安定性に優れた温度制御が可能
- 自社製制御系を搭載しており、容易で信頼性の高い運転を実現
- H83-125、H84-125はボートエレベーターを標準装備しているため、上段へのローディングも容易
- パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、オキシ塩化リン（POCl3）や三臭化ホウ素（BBr3）を使用したリン拡散やボロン拡散、アニールなどの処理が可能
用途
- シリコンウェーハの拡散、熱酸化、アニール処理
仕様
| Model | H83-50 | H83-125 | H84-125 |
| プロセス | 酸化、拡散、アニール | ||
| ウェーハ径（mm） | ～ 200（8 inch） | ||
| 段数 | 3 | 3 | 4 |
| プロダクトウェーハ数（枚） | 50 | 125 | 125 |
| ヒータゾーン | 5 | ||
| ヒータ材質 | Fe-Cr-Al | ||
| 常用温度（℃） | 600～1200 | ||
| 均熱長（mm） | 370 mm | 800 mm | 800 mm |
| 均熱性（℃） | ±1.0 ℃ | ||